UA3P

Thông số

Mã nhà sản xuất

UA3P-300/UA3P-4/UA3P-5

Hãng sản xuất

Panasonic

Kích thước ngoài (R × S × C, mm)

700 x 780 x 1,500

Khối lượng thân máy

700 kg (Others: 150 kg)

Dải đo X, Y, Z (mm)

30x30x20

Vùng đặt mẫu X, Y, Z (mm)

100x100x100

Đầu dò

AFP

Độ phân giải

0.3nm

Góc nghiêng tối đa khi đo mặt trên

75º

Độ chính xác đo bằng đầu dò mặt trên

30° max.: ±0.05 µm (round trip); 45° max.: ±0.08 µm (round trip); 60° max.: ±0.15 µm (round trip); 70° max.: ±0.15 µm (back); *When using the standard ruby stylus or ceramic stylus

Độ chính xác đo theo trục XY

100 mm max.: 0.05 µm (Repeatability 0.05 µm max. ); 200 mm max.: 0.1 µm (Repeatability 0.05 µm max.)

Tốc độ đo

0.005-5 mm/sec

Nhiệt độ môi trường làm việc

20-23°C (Variation ±1°C max.)

Độ ẩm môi trường làm việc

20-60% (Wind from air conditioners should not directly blow onto the equipment)

Rung động cho phép

Allowance 2.0 cm/s2 ( = 2.0 gal) Recommended 0.5 cm/s2

Nguồn khí nén

0.5 MPa - 1.0 MPa　Flow rate 150 NL/min

Phụ kiện tiêu chuẩn

Standard ruby stylus, standard diamond stylus, AFP (Model 300: 1 pc., Models 4 and 5: 2 pcs. each), standard ball for calibration, printer