Thiết bị đo lường (Metrology)

Panasonic. Máy đo biên dạng 3D độ chính xác nano mét cho thấu kính phi cầu, khuôn và wafer bán dẫn, vùng đo đến 200 × 200 mm, độ bất định tổng 0,1 µm.